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接触曝光机 ABM
型       号:350
名       称:接触曝光机
品       牌:ABM
ABM接触曝光机:配备双波段光源(365nm/400nm),可执行3英寸和4英寸晶圆接触曝光。极限分辨率:1μm片内均匀性:≤1% over 50mm(曝光中心点50mm有效范围内)≤3% over 100mm(曝光中心点100mm有效范围内)正面对准精度误差±1mm;X/Y轴方向可移动总行程±12.5mm;
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