1. 分辨率：0.6nm(15kV)，0.7nm（1kV 减速模式）；
2. 放大倍率：20X - 2 000000X；
3. 加速电压：0.01kV - 30kV，着陆电压 0.01-20kV；
4. 检测器：LD，UD 和 IMD；
5. 能谱仪 (EDS)：ULTIM Max65 双探测器系统（英国 Oxford 公司）。

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