（1）离子束点分辨率：2.5nm @ 30kV；（2）切割和沉积图形的特征尺寸均能够达到10nm；（3）可加工最大样品直径为150mm； （4）可沉积物质：W，Pt，C

非磁性块体、粉末材料、纳米线。样品表面平整、干净。长*宽<100*100mm，高<20mm，重量<200g。

面议