（1）X,Y轴扫描范围100μm×100μm，Z轴扫描范围12μm；（2）13种工作模式；（3）样品台移动速度≥40mm/s。

块体或有基底的薄膜样品请尽量提供尺寸（1cm×1cm）且表面平整的样品，尺寸可以稍大，标明测试面。

面议