（1）分辨率：≤0.7 nm@15kV；（2）加速电压：0.02kV～30kV；（3）放大倍率可达 8-2,000,000倍；（4）旋转角度可达-4-70°，方便侧面或截面观察

（1）块状样品：样品尺寸在3mm至6英寸之间。（2）液体样品：样品量大于1ml。（3）粉末样品：样品量≥2mg。（4）磁性及导电性较差样品，测试前会进行喷金处理。

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