聚焦离子束：分辨率：3 nm @30kV ；可用离子束流：1 pA–100 nA ；加速电压：0.5-30 kV。场发射扫描电镜：分辨率：0.9 nm @15 kV; 1.8 nm @1 kV；加速电压：0.02-30 kV； 放大倍数：12X-2,000,000X配置5个探测器 ：　　√ 镜筒内置二次电子探测器（InLens）　　√ 镜筒内置能量选择背散射电子探测器（EsB）　　√ Everhart-Thornley样品室二次电子探测器（SE）　　√ 4Q-BSD 背散射电子探测器　　√ 能谱仪（EDS)五支气体注入系统：XeF2，Pt，C，Si， H2OAvizo三维分析软件：含孔喉模型

1、高分辨二次电子/背散射电子图像 2、 元素组成与含量( EDS)分析3、透射电镜样品制备 4、纳米加工（沉积、刻蚀）5、三维重构成像 6、三维空间材料组成及分布 7、三维孔隙分布、连通性、孔径及孔隙度

1、无腐蚀性、无爆炸性、无剧毒性的粉体和块体2、块体样品高度必须低于1cm，长宽小于2cm，表面必须平整3、树脂包埋样品需使用导电树脂

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