电子束核心指标：分辨率1.1最佳工作距离分辨率：1.0nm @ 1kV1.2束交叉点分辨率：0.6nm @ 15kV; 2.5nm@1kV

.集成电路线路修改；2. 透射样品切割，包括硅基、纳米颗粒、陶瓷颗粒等

面议